静电夹具以及制造其之方法;ELECTROSTATIC CHUCK AND METHOD OF MAKING SAME

摘要

一种静电夹具(electrostatic chuck)，包含：一陶瓷结构元件；至少一电极，配置于该陶瓷结构元件之上；以及一表面介电层，配置于该至少一电极上方，该表面介电层被该电极中之一电压启动而形成一电荷以静电式地箝夹一基板至该静电夹具。该表面介电层包含：(i)一非晶氧化铝(amorphous alumina)绝缘体层，具有一小于大约5微米之厚度，配置于该至少一电极上方；以及(ii)一介电层堆叠，配置于该绝缘体层上方。该介电层堆叠包含：(a)包含氮氧化铝的至少一介电层；以及(b)包含氧化矽与氮氧化矽中至少一者的至少一介电层。; and (ii) a stack of dielectric layers disposed over the insulator layer. The stack of dielectric layers includes: (a) at least one dielectric layer including aluminum oxynitride; and (b) at least one dielectric layer including at least one of silicon oxide and silicon oxynitride.