支撑板、支撑板之形成方法及晶圆之加工方法

摘要

本发明的课题是提供一种使晶圆的剥离较容易且不会有胶料或接着剂残存于元件表面之情形的支撑板。解决手段是供表面具有元件区域与环绕该元件区域之外周剩余区域的晶圆之表面贴附的支撑板，其中该元件区域形成有复数个元件，该支撑板的特征为包括基板与柔软构件，该基板是在对应于被贴附的晶圆之该元件区域的表面区域上形成凹部，并且在对应于晶圆之该外周剩余区域的区域上形成环状沟，该柔软构件是填充于该基板之该凹部，并藉由在该环状沟中注入接着剂以透过该接着剂将晶圆贴附于该支撑板之表面。