| 发明名称 |
薄膜圧電素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ハードディスクドライブおよびインクジェットプリンタ装置 |
| 摘要 |
本発明に係る薄膜圧電素子は、６０ｎｍ以上、９０ｎｍ以下の平均結晶粒径を有するニオブ酸カリウムナトリウム系の圧電体薄膜と、この圧電体薄膜を挟んで保持するように構成された一対の電極膜とを含む。【選択図】図３Ａ |
| 申请公布号 |
JP2015534257(A) |
申请公布日期 |
2015.11.26 |
| 申请号 |
JP20150527036 |
申请日期 |
2013.08.30 |
| 申请人 |
ＴＤＫ株式会社 |
发明人 |
前島 和彦;倉知 克行;佐久間 仁志;會田 康弘;田中 美知 |
| 分类号 |
H01L41/187;B41J2/14;G01C19/5621;G11B21/10;G11B21/21;H01L41/09;H01L41/113;H02N2/00 |
主分类号 |
H01L41/187 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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