发明名称 |
通过监视另一频带中的功率的脉冲同步 |
摘要 |
一种射频(RF)功率传递系统包括第一RF发生器和第二RF发生器。该第一RF发生器作为主RF发生器操作,并且第二RF发生器作为从RF发生器操作。该从RF发生器包括用于感测该从RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器还包括用于感测来自该主RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器的操作受主管器或控制器控制。该主管器或控制器根据由第二检测器确定的电气性质,操作该从RF发生器。 |
申请公布号 |
CN105103660A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201380074722.5 |
申请日期 |
2013.11.21 |
申请人 |
MKS仪器有限公司 |
发明人 |
尼古拉斯·纳尔逊;戴维·J·库莫 |
分类号 |
H05H1/36(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/36(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
柴德海;康泉 |
主权项 |
一种射频(RF)功率传递系统,包括:第一RF发生器,提供用于向负载传递的第一RF信号;以及第二RF发生器,提供用于向所述负载传递的第二RF信号,所述第二RF发生器包括第一检测器和第二检测器,所述第一检测器检测所述第一RF信号的电气性质,所述第二检测器检测所述第二RF信号的电气性质,其中,根据由所述第一检测器检测到的电气性质,使所述第二RF发生器的操作与所述第一RF发生器的操作协调。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |