多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法

摘要

本发明公开了一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，该多管路液体气化反应成膜设备包括多条进气管路、抽气泵和反应腔室，多条进气管路共同通入反应腔室，所述抽气泵与反应腔室以及位于进气管路的支流阀连接，在进气管路中通入载气和反应气，使滞留气体、杂质通过支流阀被抽气泵吸走；接着，调节支流阀使载气和反应气进入到反应腔室进行化学反应，反应完成后，由抽气泵抽走所述反应腔室中的剩余废气。本发明通过优化化学反应开始前流经进气管路的载气和反应气的流向，取代传统制程程式中直接使气体流入反应腔室的方法，减少因为上一次制程后被滞留在进气管路中的残留气体和杂质直接进入反应腔室，有效改善了成膜后的颗粒表现。

主权项

一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，该多管路液体气化反应成膜设备包括多条进气管路、抽气泵和反应腔室，多条进气管路共同通入反应腔室，所述抽气泵与反应腔室以及位于进气管路的支流阀连接，其特征在于，在进气管路中通入载气和反应气，使滞留气体、杂质通过支流阀被抽气泵吸走；接着，调节支流阀使载气和反应气进入到反应腔室进行化学反应，反应完成后，由抽气泵抽走所述反应腔室中的剩余废气。