用于热处理的快速升降温炉体

摘要

本发明公开了一种快速升降温炉体，其包括包围工艺管的筒状的保温层，配置于所述保温层内周面的加热元件，以及冷却单元。其中冷却单元包括：位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道；以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋状风道连通并沿所述螺旋状风道高度方向分布的多个风孔，所述风孔用于向所述保温层和所述工艺管之间的空间喷出所述冷却气体。本发明可提高炉体的风冷效率。

主权项

一种快速升降温炉体，其包围用于容纳多个基板并对所述基板进行处理的工艺管，其特征在于，所述快速升降温炉体包括：筒状的保温层，其包围所述工艺管；加热元件，配置于所述保温层内周面；以及冷却单元，其包括：位于所述保温层中的用于流通冷却气体的一个螺旋状风道；以及形成于所述保温层内周面、与所述螺旋状风道连通并沿所述螺旋状风道高度方向分布的多个风孔，所述风孔与所述快速升降温炉体的径向之间具有夹角，并朝向接近所述风道的冷却气体的方向设置，所述风孔用于向所述保温层和所述工艺管之间的空间喷出所述冷却气体；还包括：冷却气体引入部分，其设置于所述螺旋状风道的下端；以及冷却气体排出部分，其设置于所述快速升降温炉体顶部的保温盖中。