发明名称 |
一种丝网印刷机二次印刷精度的检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种丝网印刷机二次印刷精度检测方法,其步骤为:S1:在正面电极第一次印刷所用的第一网版上的指定位置添加两个以上的第一类定位识别标记;S2:在正面电极第二次印刷所用的第二网版上的指定位置添加两个以上的第二类定位识别标记;S3:采用第一网版进行一次印刷,得到具有第一类定位识别标记的硅片;S4:采用第二网版进行第二次印刷,得到同时具有第一类定位识别标记和第二类定位识别标记的硅片;S5:对第一类定位识别标记和第二类定位识别标记所在区域进行采样,并对采样结果进行分析处理,判断二次印刷的精度。本发明具有原理简单、操作简便、能够提高检测精度等优点。 |
申请公布号 |
CN105091755A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510539990.0 |
申请日期 |
2015.08.28 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
郭立;吴易龙;郭忠君;陈勇平 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
湖南兆弘专利事务所 43008 |
代理人 |
周长清 |
主权项 |
一种丝网印刷机二次印刷精度检测方法,其特征在于,步骤为:S1:在正面电极第一次印刷所用的第一网版上的指定位置添加两个以上的第一类定位识别标记;S2:在正面电极第二次印刷所用的第二网版上的指定位置添加两个以上的第二类定位识别标记;S3:采用第一网版进行一次印刷,得到具有第一类定位识别标记的硅片;S4:采用第二网版进行第二次印刷,得到同时具有第一类定位识别标记和第二类定位识别标记的硅片;S5:对第一类定位识别标记和第二类定位识别标记所在区域进行采样,并对采样结果进行分析处理,判断二次印刷的精度。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |