| 发明名称 | 光接收装置、光学装置和用于制造光接收装置的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光接收装置，包含位于与像素相对应的各个区域中的微透镜(21)，所述微透镜(21)布置在InP衬底(1)的背面上。所述微透镜通过使用树脂材料形成，所述树脂材料对0.7μm～3μm的波长范围内的光的透过率的变化范围为25%以下，所述透过率为70%以上。 | ||
| 申请公布号 | CN103329287B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201280005421.2 | 申请日期 | 2012.01.07 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 猪口康博;齐藤格;藤村康;田中和典 |
| 分类号 | H01L31/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 陈海涛;穆德骏 |
| 主权项 | 一种光接收装置，包含形成在InP衬底上的多个像素，所述光接收装置包含：微透镜，所述微透镜位于与所述像素相对应的各个区域中，且所述微透镜布置在所述InP衬底的背面上，其中所述微透镜通过使用树脂材料形成，所述树脂材料对0.7μm～3μm的波长范围内的光的透过率的变化范围为25％以下，所述透过率为70％以上，以及其中在所述InP衬底的背面与所述微透镜之间设置有SiN涂膜或SiON涂膜。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市 | ||