发明名称 |
具有纳米微结构基板的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种具有纳米微结构基板的制备方法。该具有纳米微结构基板的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底具有一支持外延层生长的外延生长面;在所述基底的外延生长面设置一碳纳米管层;在基底的外延生长面垂直生长外延层;以及,去除所述碳纳米管层,得到至少一表面具有纳米微结构的具有纳米微结构基板。所述具有纳米微结构基板的制备方法工艺简单,成本低廉。 |
申请公布号 |
CN102719888B |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201110076886.4 |
申请日期 |
2011.03.29 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
魏洋;范守善 |
分类号 |
C30B25/04(2006.01)I;C30B25/20(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C30B25/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种具有纳米微结构基板的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底具有一支持外延层生长的外延生长面;在所述基底的外延生长面设置一碳纳米管层作为掩模,所述碳纳米管层中具有多个开口,所述开口从所述碳纳米管层的厚度方向贯穿所述碳纳米管层,所述开口的尺寸为10纳米~500微米;在基底的外延生长面垂直生长外延层,所述外延层从所述基底的外延生长面通过该开口暴露的部分垂直生长,所述外延层为由碳纳米管层中的碳纳米管间隔的非连续性的外延层;以及,去除所述碳纳米管层,得到表面具有纳米微结构的基板。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |