三角波相位调制半导体激光自混合测速仪及其测量方法

摘要

本发明提供一种三角波相位调制半导体激光自混合测速仪及测量方法。其测速仪的结构为：驱动电路连接半导体激光二极管，半导体激光二极管的正向发射端轴线上依次设置有非球面补偿透镜、起偏器、光线密度滤波器、电光晶体调制器和待测目标；激光二极管内置有感光二极管、半导体激光器和光电探测器，感光二极管用于检测反射回半导体激光器谐振腔内的光束，光电探测器接收自混合干涉信号后输出给运算放大器；信号发生器分别输出三角波信号和触发信号至电光晶体调制器和运算放大器；运算放大器、数据采集卡和计算机依次连接。本发明非接触式地探测微纳米级振动，可同步得出待测物体速度与位移，具备高敏感度、纳米级精度、噪声低、解调速度快的特点。

主权项

三角波相位调制半导体激光自混合测速仪，包括驱动电路、半导体激光二极管、制冷片、温度控制器、非球面补偿透镜、起偏器、光线密度滤波器、电光晶体调制器、信号发生器、运算放大器、数据采集卡和计算机；其特征在于，驱动电路连接半导体激光二极管，半导体激光二极管的正向发射端轴线上依次设置有非球面补偿透镜、起偏器、光线密度滤波器、电光晶体调制器和待测目标；所述半导体激光二极管内置有感光二极管、半导体激光器和光电探测器，所述感光二极管用于检测反射回半导体激光器谐振腔内的光束，所述光电探测器接收自混合干涉信号后输出给所述运算放大器；所述信号发生器分别输出三角波信号和方波触发信号至电光晶体调制器和运算放大器；所述运算放大器、数据采集卡和计算机依次连接；所述计算机基于交叉微分解调技术获得速度曲线，进一步得出待测目标的位移和加速度，并由显示终端输出。