真空腔中传动轴用固定装置

摘要

本实用新型公开了真空腔中传动轴用固定装置，包括用于固定传动轴的轴承座，轴承座上开设有一贯穿其的通孔，在通孔内固定安装有一陶瓷轴承；传动轴采用过盈配合的方式固定安装在陶瓷轴承上；轴承座固定安装在机体底座上，连接机体底座和轴承座的连接结构所在处及轴承座与机体底座接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。

主权项

真空腔中传动轴用固定装置，包括用于固定传动轴的轴承座，其特征在于：所述轴承座上开设有一贯穿其的通孔，在所述通孔内固定安装有一陶瓷轴承；所述传动轴采用过盈配合的方式固定安装在所述陶瓷轴承上；所述轴承座固定安装在机体底座上，连接所述机体底座和所述轴承座的连接结构所在处及所述轴承座与所述机体底座接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。