发明名称 一种可测振幅的精密机台减振座
摘要 本发明提供一种可测振幅的精密机台减振座,包括上减振块、下减振块和若干滚柱,所述上减振块与精密机台固定连接,所述若干滚柱紧压设置在所述上减振块的下表面与所述下减振块的上表面之间,所述上减振块的下表面为外凸弧面,所述下减振块的上表面为与所述外凸弧面配合的内凹弧面,所述下减振块的一侧面设有振幅刻度条,所述上减振块的相应侧面设有用于指向所述振幅刻度条的指示条。本发明巧妙结合指针刻度和滚柱结构,不但可以减小振动对精密机台的影响,同时还可以测量振幅大小,为进一步消减振动提供数据支持。本发明结构简单,设计合理。
申请公布号 CN105090685A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510580757.7 申请日期 2015.09.14
申请人 合肥芯碁微电子装备有限公司 发明人 曹常瑜
分类号 F16M5/00(2006.01)I;F16F15/02(2006.01)I 主分类号 F16M5/00(2006.01)I
代理机构 合肥天明专利事务所 34115 代理人 宋倩;袁由茂
主权项 一种可测振幅的精密机台减振座,其特征在于:包括上减振块、下减振块和若干滚柱,所述上减振块与精密机台固定连接,所述若干滚柱紧压设置在所述上减振块的下表面与所述下减振块的上表面之间,所述上减振块的下表面为外凸弧面,所述下减振块的上表面为与所述外凸弧面配合的内凹弧面,所述下减振块的一侧面设有振幅刻度条,所述上减振块的相应侧面设有用于指向所述振幅刻度条的指示条。
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