| 发明名称 | 一种基片载具 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种基片载具，用于蒸发沉积系统中，对基片进行装载，所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座，所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端，所述支撑基座用于放置基片，所述滚轮用于在轨道上滚动。本实用新型提供的基片载具，包括滚轮、支撑杆和支撑基座，能够方便地对基片进行装载；可以实现对不同大小的基片进行沉积，同时还可调整基片的沉积倾斜角；并且，本申请中的基片载具能够方便地放置基片，对基片固定牢固稳定，非常利于对基片的沉积的进行。 | ||
| 申请公布号 | CN204803400U | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201520433153.5 | 申请日期 | 2015.06.19 |
| 申请人 | 杭州士兰集成电路有限公司 | 发明人 | 乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人 | 柳兴坤;冯丽欣 |
| 主权项 | 一种基片载具，用于蒸发沉积系统中，对基片进行装载，其特征在于，所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座，所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端，所述支撑基座用于放置基片，所述滚轮用于在轨道上滚动。 | ||
| 地址 | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号 | ||