| 主权项 |
一种用于净化以防止气态分子污染物和自然氧化物之装置，所述装置包括：前开口式一体型容器，其经组态以含有一或多个晶圆且具有在所述前开口式一体型容器之下方部分形成之用于供应气体之接收供应孔以及用于排放所述气体之接收排放孔；载物台单元，其各自经组态以使所述前开口式一体型容器与所述载物台单元分离或安装在所述载物台单元中，支撑所述所安装之前开口式一体型容器，且具有在对应于所述接收供应孔之位置处形成的用于供应所述气体之气体供应孔以及在对应于所述接收排放孔之位置处形成的用于排放所述气体之气体排放孔；第一气体供应口单元，其响应于所述气体供应孔而安置，且经组态以当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时向所述前开口式一体型容器供应所述气体；以及第一气体排放口单元，其响应于所述气体排放孔而安置，且经组态以当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时自所述前开口式一体型容器排放所述气体，其中所述第一气体供应口单元包括：第一供应固定单元，其插入至所述气体供应孔中；第一供应突出单元，其自所述第一供应固定单元之顶部突出且经组态以穿透所述第一供应固定单元；
第一供应主体单元，其安置在所述第一供应固定单元之底部，且经组态以相比所述第一供应固定单元具有较大直径，以使得所述第一供应主体单元未插入至所述气体供应孔中，且支撑所述第一供应固定单元；第一气体供应单元，其与所述第一供应突出单元连接，且经组态以在所述第一供应固定单元插入至所述气体供应孔中之方向上穿透所述第一供应主体单元，且向所述前开口式一体型容器供应所述气体；第一供应垫单元，其经安置以使得所述第一供应垫单元之顶部插入至所述接收供应孔中且所述第一供应垫单元之底部插入至所述气体供应孔中，以便当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时防止所述气体泄漏；以及第一排放垫单元，其经安置以使得所述第一排放垫单元之顶部插入至所述接收排放孔中且所述第一排放垫单元之底部插入至所述气体排放孔中，以便当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时防止所述气体泄漏，其中所述第一供应垫单元以及所述第一排放垫单元中之每一者由弹性材料制成，其中所述前开口式一体型容器包括：第一供应口单元，其安置在所述接收供应孔内且经组态以具有圆形截面之底部以及特定高度之圆柱体，以使得当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时，所述第一供应口单元之所述底部与插入至所述接收供应孔
中之所述第一供应垫单元接触；以及第一排放口单元，其经组态以具有与所述第一供应口单元相同之形状，安置在所述接收排放孔内，且经组态以当所述前开口式一体型容器安装在所述载物台单元中时，使底部与插入至所述接收排放孔中之所述第一排放垫单元接触。
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