发明名称 METHOD OF GROWING ALUMINUM OXIDE ONTO SUBSTRATES BY USE OF AN ALUMINUM SOURCE IN AN ENVIRONMENT CONTAINING PARTIAL PRESSURE OF OXYGEN TO CREATE TRANSPARENT, SCRATCH-RESISTANT WINDOWS
摘要 예컨대 시계 액정, 휴대폰, 테블릿 컴퓨터, 개인용 컴퓨터 및 이와 유사한 것과 같은 소비재 및 휴대 장치에 사용하기 위해 투명한 파쇄 저항성 기판의 하나 이상의 면에 증착된 얇은 스크래치 저항성의 알루미늄 산화막으로 구성된 스크래치 저항성 및 파쇄 저항성 매트릭스를 생성하도록 유리와 같은 기판을 알루미늄 산화물의 층으로 코팅하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 시스템 및 방법은 스퍼터링 기술을 포함할 수 있다. 시스템 및 방법은 두께가 약 2 mm 이하인 얇은 윈도우를 제조할 수 있고, 매트릭스(즉, 알루미늄 산화막과 투명 기판의 조합)는 사파이어보다 작은, 즉 약 350 GPa 미만의 영률을 갖는 파쇄 저항성을 구비할 수 있다. 얇은 윈도우는 우수한 파쇄 저항성의 특성을 구비한다.
申请公布号 KR20150129732(A) 申请公布日期 2015.11.20
申请号 KR20157024881 申请日期 2014.01.30
申请人 RUBICON TECHNOLOGY, INC. 发明人 LEVINE JONATHAN B.;CIRALDO JOHN P.
分类号 C23C14/08;C03C17/245;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C16/40 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
地址