半导体装置用聚酰亚胺树脂组合物及使用其的半导体装置中的膜形成方法和半导体装置

摘要

提供具有最适于丝网印刷、分配涂布的流变学特性，与各涂布基板的润湿性提高，可以进行500次以上的连续印刷，在印刷、涂布后，干燥、固化时不会产生起泡、凹陷、针孔，可以覆盖规定部分的半导体装置用聚酰亚胺树脂组合物以及使用该聚酰亚胺树脂组合物的半导体装置中的膜形成方法和具有通过该方法形成的膜作为绝缘膜、保护膜等的半导体装置。半导体装置用聚酰亚胺树脂组合物，为在第一有机溶剂(A)和第二有机溶剂(B)的混合溶剂中含有聚酰亚胺树脂的树脂组合物，所述聚酰亚胺树脂是可溶于第一有机溶剂(A)和第二有机溶剂(B)的混合溶剂中的耐热性聚酰亚胺树脂，聚酰亚胺的重复单元中含有烷基和/或全氟烷基，具有触变性。

主权项

半导体装置用聚酰亚胺树脂组合物，其为在疏水性溶剂第一有机溶剂(A)和亲水性溶剂第二有机溶剂(B)的混合溶剂中含有聚酰亚胺树脂的聚酰亚胺树脂组合物，所述聚酰亚胺树脂是可溶于疏水性溶剂第一有机溶剂(A)和亲水性溶剂第二有机溶剂(B)的混合溶剂的耐热性聚酰亚胺树脂，主链中含有下式[I]表示的二价基团、和选自下式[II]表示的二价基团和下式[IV]表示的二价基团中的至少一种二价基团， 所述树脂组合物的触变系数为1.5～10.0，式中，Rf表示碳原子数为1～4的全氟烷基。