发明名称 压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器
摘要 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备:多个棒状的振动臂(15a、15b);基部(12),其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接;锤部(20a、20b),其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b);槽部(17a、17b),其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且,具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30~36),在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。
申请公布号 CN102487267B 申请公布日期 2015.11.18
申请号 CN201110393650.3 申请日期 2011.12.01
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 山田明法
分类号 H03H3/02(2006.01)I;H03H9/21(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I 主分类号 H03H3/02(2006.01)I
代理机构 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人 黄威;孙丽梅
主权项 一种振子,其特征在于,包含:振动元件,容器,其将该振动元件收纳于内部,所述振动元件包含:基部,振动臂,其从所述基部起沿着第一方向延伸,并包含相互呈表背关系的第一主面以及第二主面,锤部,其在俯视观察时,从所述振动臂的与其基部侧相反一侧的端部起沿着所述第一方向而延伸,并包含相互呈表背关系的第三主面以及第四主面,并且其与所述振动臂相比,在与第一方向正交的第二方向上的宽度较大,所述锤部上设置有从所述第三主面向所述第四主面贯穿,并沿着所述第一方向延伸的多条狭缝,所述多条狭缝以相对于所述振动臂的沿着所述第一方向的假想中心线对称的方式而配置,所述容器的所述内部被密封。
地址 日本东京