| 发明名称 | 圆筒型溅射靶及其制造方法 | ||
| 摘要 | 该圆筒型溅射靶为Cu-Ga合金圆筒型溅射靶，其由含有15～35原子％的Ga的Cu合金所构成，所述Cu合金具有粒状结晶组织。 | ||
| 申请公布号 | CN105074047A | 申请公布日期 | 2015.11.18 |
| 申请号 | CN201480018190.8 | 申请日期 | 2014.03.27 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 加藤慎司;张守斌;小见山昌三 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B22D13/02(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种圆筒型溅射靶，其通过铸造而形成，其特征在于，该溅射靶为含有15～35原子％的Ga的Cu合金，所述Cu合金中晶粒的长轴与短轴之比的平均值为2.0以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||