变曲率反射镜装置

摘要

本发明涉及一种变曲率反射镜装置，变曲率反射镜装置包括镜筒、压圈、反射镜、圆锥状超薄板形弹簧、环形支撑座、环状推力环、驱动器阵列以及用于固定驱动器阵列的支撑底盘；反射镜压入圆锥状超薄板形弹簧中并与圆锥状超薄板形弹簧形成一个整体；压圈、带有反射镜的圆锥状超薄板形弹簧、环形支撑座、环状推力环、驱动器阵列以及用于固定驱动器阵列的支撑底盘依次止靠共同设置在镜筒中并与镜筒同轴。本发明提供了一种空间位置稳定、不仅能够实现均匀的曲率变化还能对形变之后的面形精度的改变进行一定的补偿的变曲率反射镜装置。

主权项

一种变曲率反射镜装置，其特征在于：所述变曲率反射镜装置包括镜筒、压圈、反射镜、圆锥状超薄板形弹簧、环形支撑座、环状推力环、驱动器阵列以及用于固定驱动器阵列的支撑底盘；所述反射镜压入圆锥状超薄板形弹簧中并与圆锥状超薄板形弹簧形成一个整体；所述压圈、带有反射镜的圆锥状超薄板形弹簧、环形支撑座、环状推力环、驱动器阵列以及用于固定驱动器阵列的支撑底盘依次止靠共同设置在镜筒中并与镜筒同轴。