发明名称 |
モノクロロシランとアンモニアとからトリシリルアミンを製造する方法 |
摘要 |
The present invention relates to a specific process for producing trisilylamine from monochlorosilane and ammonia in the liquid phase. The invention further relates to a plant in which such a process can be carried out with advantage. |
申请公布号 |
JP5818983(B2) |
申请公布日期 |
2015.11.18 |
申请号 |
JP20140517542 |
申请日期 |
2012.05.15 |
申请人 |
エボニック デグサ ゲーエムベーハーEvonik Degussa GmbH |
发明人 |
カール−フリードリヒ ホッペ;ハルトヴィッヒ ラウレーダー;イングリッド ラント−リーグ;クリスティアン ゲッツ |
分类号 |
C07F7/02 |
主分类号 |
C07F7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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