厚度测定器及厚度测定方法;THICKNESS MEASUREMENT APPARATUS, THICKNESS MEASUREMENT METHOD

摘要

提供一种不受到测定对象物的表背面有无凹凸等所影响，而能够正确地测定测定对象物的厚度之厚度测定器及厚度测定方法。;厚度测定器，具备：第一及第二雷射位移计(26、27)，测定测定对象物的表面的位移；及算出装置，由雷射位移计测定出的第一及第二位移，藉由演算算出测定对象物的厚度；第一及第二雷射位移计(26、27)，系在一直线上相向配置，以便测定测定对象物的表背面的位移。