晶圆放置箱之箱门泄压装置

摘要

一种晶圆放置箱之箱门泄压装置，其箱门设有至少一锁合机构；该箱门泄压装置包括：一通气孔，穿通于箱门的门板；一单向阀体，设于箱门的门板，且连通于通气孔；以及一连杆，连设于锁合机构，且连结于单向阀体，该连杆随着锁合机构动作而带动单向阀体开启或封闭。箱门解锁时，可同时以锁合机构带动连杆动作以开启单向阀体，泄除晶圆放置箱箱体内部的负压。