| 摘要 |
<p>イオンビーム試料調製装置及び方法の実施形態が開示されている。方法は、真空チャンバ内において配設された試料に対して動作し、且つ、強度制御可能で傾斜角度制御可能なイオンビームを回転ステージに結合された試料ホルダに対して導くステップを含む。方法は、試料を照明すると共にその１つ又は複数の画像をキャプチャするステップと、１つ又は複数の画像から有用な特徴を抽出するステップと、その後に、試料調製ステップを調節するステップと、を更に含む。画像のシーケンスをキャプチャし、画像をプログラム的に回転させ、且つ、類似の回転角度を有する画像のシーケンスを表示する更なる方法が開示される。更なる方法は、イオンビーム調製が継続するのに伴って時間に対して変化しうる画像のシーケンスから有用な特徴を抽出するステップを含む。【選択図】図９</p> |
