发明名称 |
一种集成电路芯片清洗剂及其制备方法 |
摘要 |
一种集成电路芯片清洗剂及其制备方法,该清洗剂包括以下原料:柠檬酸,甘油,乙醇,聚氧乙烯醚,双氧水,氢氧化铵,丁烷,烷基醇酰胺。制备方法:按重量份数称取原料,并将柠檬酸、乙醇、丙三醇和双氧水投入密闭容器中,在惰性气体保护下以2-5℃/min恒速升温到42-55℃得第一混合物;将聚氧乙烯醚、氢氧化铵和丁烷和烷基醇酰胺投入反应釜中,在真空度为0.06-0.12Mpa的真空条件下加热至62-68℃后,以5-8℃/min升温至75-80℃得第二混合物;将第一混合物和第二混合物混合后,搅拌得集成电路清洗剂。本发明集成电路芯片清洗剂清洁能力强,对芯片损伤少,制备简单,适合推广。 |
申请公布号 |
CN105039035A |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201510372008.5 |
申请日期 |
2015.06.30 |
申请人 |
苏州东辰林达检测技术有限公司 |
发明人 |
熊开胜;张海防;谢建庭 |
分类号 |
C11D10/02(2006.01)I |
主分类号 |
C11D10/02(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
李纪昌 |
主权项 |
一种集成电路芯片清洗剂,其特征在于,包括以下按重量份数计的原料:柠檬酸5‑8份,甘油5‑8份,乙醇10‑15份,聚氧乙烯醚20‑28份,双氧水12‑18份,氢氧化铵2‑6份,丁烷15‑22份,烷基醇酰胺10‑16份。 |
地址 |
215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇中山东路70号 |