| 发明名称 | 基于硅基低漏电流双悬臂梁可动栅的频率检测器 | ||
| 摘要 | 本发明的基于硅基低漏电流双悬臂梁可动栅的频率检测器，原理和结构简单，该结构同时可以实现频率检测和信号放大两种功能，节约了芯片的面积。由于悬臂梁结构在非工作状态时的漏电流极低，有效地降低了功耗。频率检测时，施加直流偏置电压使两个悬臂梁处于下拉状态，待测微波信号经过λ/4延迟线和λ/100延迟线后，产生两路频率相等但存在一定相位差的信号，输入到悬臂梁栅极，检测源漏极饱和电流，由相位差得到待测微波信号的频率。信号放大时，施加偏置电压使连接λ/100延迟线的悬臂梁被下拉，λ/4延迟线末端被短路，始端相当于开路，信号完全经过λ/100延迟线输入到MOSFET栅极并被放大，由于存在一个悬浮的悬臂梁，下面对应的区域为高阻区，有利于提高反向击穿电压。 | ||
| 申请公布号 | CN105044454A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510378149.8 | 申请日期 | 2015.07.01 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 廖小平;严嘉彬 |
| 分类号 | G01R23/12(2006.01)I | 主分类号 | G01R23/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 杨晓玲 |
| 主权项 | 一种基于硅基低漏电流双悬臂梁可动栅的频率检测器，其特征是：N型MOSFET制作在P型硅衬底(1)上，沟道栅氧化层(2)设置在P型硅衬底(1)上，在沟道栅氧化层(2)的上方设有两个悬臂梁(9)，材料为Au，作为MOSFET的可动栅，其下拉电压设置为MOSFET的阈值电压，悬臂梁(9)横跨在锚区(6)上，锚区(6)与输入引线(5)相连，作为微波信号和直流偏置信号的输入端，其中，微波信号由微波信号输入端口输入，通过隔直电容后分为两路，分别经λ/100延迟线和λ/4延迟线输入到两个悬臂梁(9)上，直流偏置信号由第一偏置端口(12)和第二偏置端口(13)输入，通过高频扼流圈分别输入到两个悬臂梁(9)上，锚区(6)和输入引线(5)的制备材料为多晶硅，悬臂梁(9)的下面各分布着一个下拉电极(4)，下拉电极(4)接地，下拉电极上覆盖一层绝缘的氮化硅介质层(3)；MOSFET源区(7)，MOSFET漏区(8)分别设置在P型硅衬底(1)上，源漏引线(11)分别通过有源区引线孔(10)与MOSFET源区(7)，MOSFET漏区(8)连接。 | ||
| 地址 | 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号 | ||