| 发明名称 |
产生光酸之单体及其前驱物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI507383 |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
| 申请号 |
TW100149134 |
申请日期 |
2011.12.28 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏全球科技责任有限公司 |
发明人 |
克雷 苏珍Ｍ;堤摩斯 法兰斯Ｊ;威尔森 大卫Ｒ |
| 分类号 |
C07C309/09;C07C381/12;C07D327/02;G03F7/004 |
主分类号 |
C07C309/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种具有式(VII)之化合物，
其中，各R2、R3及R7独立地为H、F、C1-10烷基或氟取代之C1-10烷基，各R8独立地为F、C1-10烷基或氟取代之C1-10烷基；m为0至4之整数；n为1、2或3；以及G+为有机或无机阳离子。 |
| 地址 |
美国 |
