发明名称 |
被硼和氮代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管 |
摘要 |
提供被氮和硼代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管,该石墨烯包括碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构。该石墨烯具有带隙。被硼和氮代替的石墨烯可用作场效应晶体管的沟道。该石墨烯可通过使用环硼氮烷或氨硼烷作为氮化硼(B-N)前体进行化学气相沉积(CVD)方法形成。 |
申请公布号 |
CN102285660B |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201110164676.0 |
申请日期 |
2011.06.20 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
李晟熏;徐顺爱;禹轮成;郑现钟;许镇盛 |
分类号 |
C01B35/00(2006.01)I;H01L29/167(2006.01)I |
主分类号 |
C01B35/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
金拟粲 |
主权项 |
石墨烯,包括:碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构,其中所述石墨烯具有带隙,其中所述石墨烯的C原子被至少一个具有所述B原子之一和所述N原子之一的二聚体或者至少一个具有所述B原子中的三个和所述N原子中的三个的六边形结构部分地代替,在前一情况中,超晶胞具有3~10的n值,在后一情况中,超晶胞具有4~17的n值,其中n表示超晶胞中包括的晶胞数目的平方根。 |
地址 |
韩国京畿道 |