| 主权项 |
一种正型光阻组成物，其系至少含有(A)具有以酸不安定基保护之酸性官能基之硷性不溶性或难溶性之树脂，且该酸不安定基在脱离时会成为硷性可溶性之基底树脂，(B)酸发生剂、(C)作为硷性成分之含氮化合物的正型光阻组成物；其特征为该基底树脂系由选自以下述一般式(1)、(2)、(3)、(4)、(6)、(6’)及(9)所示重复单位所构成之聚合物，其系必定含有一般式(1)与1种以上选自下述一般式(2)、(4)及(6)之重复单位，当不含下述一般式(2)所示之重复单位时，必定含有下述一般式(3)所示之重复单位之聚合物，进而，在构成该基底树脂之全部重复单位中，含有下述一般式(1)、(2)及(3)所示重复单位在合计70莫耳%以上者，
(式中，X为酸不安定基，R1为氢原子、卤原子、碳数1~10之直链状、分枝状或环状之烷基、不因酸而脱离之碳数1~10之直链状、分枝状或环状之烷氧基、或不因酸而脱离之碳数1~10之直链状、分枝状或环状之醯基，X及
R1亦可选择复数种类者，Y为酸不安定基，R为氢原子或甲基，Y及R亦可选择复数种类者，R2为氢原子、羟基、碳数1~10之直链状、分枝状或环状之烷基、不因酸而脱离之碳数1~10之直链状、分枝状或环状之烷氧基、或不因酸而脱离之碳数1~10之直链状、分枝状或环状之醯基，R2亦可选择复数种类者)。 |
