一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

摘要

本发明公开了一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。

主权项

一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜和分光镜组，所述激光源射出的激光束经所述分光镜组后分为第一激光束和第二激光束，所述第一激光束射向所述固定角反射镜，经所述固定角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第二激光束射向所述移动角反射镜，经所述移动角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器，所述第一激光束与第二激光束在射向所述干涉测量光电探测器时发生干涉，其特征在于，还包括有反射测量光电探测器，所述第二激光束在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。