发明名称 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置
摘要 本申请的发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置。其课题在于沿着纵向及横向整齐排列功能区域,并通过裂断以消除树脂层后准确地搬送基板。搬送头(13)是利用线性滑块(12)而沿着梁(11)搬送。在搬送头(13)的下部设置着头部(40)。在头部(40)的下表面具有底板(41)及弹性片(42),它们具有连通的多个开口。而且,通过驱动连接在头部(40)的抽风器而吸引基板(20),并利用线性滑块(12)使搬送头(13)移动而进行搬送。
申请公布号 CN105035761A 申请公布日期 2015.11.11
申请号 CN201510138030.3 申请日期 2015.03.27
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 太田欣也;时本育往;黑田直洋;礒嶌聪
分类号 B65G49/05(2006.01)I;B65G47/91(2006.01)I 主分类号 B65G49/05(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 沈锦华
主权项 一种脆性材料基板的搬送方法,其是搬送脆性材料基板的搬送方法,所述脆性材料基板在一面具有沿着纵向及横向以规定的间距形成的功能区域,且涂布着树脂,且沿着以所述功能区域位于中心的方式形成为格子状的划线而裂断,使用抽风器从搬送头的开口吸入空气,吸引所述脆性材料基板的包含形成为格子状的功能区域的区域,通过使所述搬送头移动,而搬送所述脆性材料基板。
地址 日本国大阪府