发明名称 光激发光剂量检测晶体制备方法
摘要
申请公布号 TWI507673 申请公布日期 2015.11.11
申请号 TW103101106 申请日期 2014.01.10
申请人 周明奇 发明人 周明奇
分类号 G01N21/63;C30B31/02 主分类号 G01N21/63
代理机构 代理人
主权项 一种光激发光剂量检测晶体制备方法,其至少包含下列步骤:(A)于一氧化铝(Al2O3)外面涂覆一层碳膜(Carbon Film),以碳将氧化铝包覆形成碳包覆氧化铝结构;(B)将该碳包覆氧化铝结构置于一高温炉中,在抽真空无氧环境下,以1500℃~1900℃之加热处理进行扩散程序(Diffusion Process),将碳原子扩散进入氧化铝晶格内;以及(C)接着在大气下之开放式高温炉中,以1400℃~1800℃之加热处理进行退火程序(Annealing Process),将氧化铝内部晶格氧与碳原子反应而形成氧空缺(Oxygen Vacancy)缺陷,以制成检测晶体(C:Al2O3)结构。
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