| 摘要 |
【課題】広い測定範囲の輪郭形状の測定と、校正とを行うことができる形状測定・校正装置を提供する。【解決手段】輪郭形状の測定と校正とを行う形状測定・校正装置であって、円弧状又は球状の校正治具と、前記校正治具の表面に接触し前記校正治具の表面形状に沿って上下に変位する触針と、前記触針に対して前記校正治具を相対的にスライド移動させる送り機構と、前記触針を一端に有し、前記触針の変位を伝える、支点を中心に回動するアームと、前記アームに取り付けられた、円弧状のスケールを有するスケール型検出器と、を有することを特徴とする形状測定・校正装置。【選択図】図１ |
