| 主权项 |
一种显示装置的基板接合设备，该设备包括：一腔体单元，被配置以将一载体基板接合至用于制造该显示装置的一基板；一第一表面板体，设置于该腔体单元内部并且被配置以支撑该基板；一支撑单元，设置于该腔体单元内部并且被配置以使该载体基板与由该第一表面板体支撑的该基板接触；以及一压力调节单元，与该腔体单元连通并且被配置以在该载体基板与该基板接触的同时在该腔体单元内部多个步骤中将真空压力自低真空压力变为高真空压力，以在该载体基板与该基板之间没有黏着剂材料的情况下将该载体基板接合至该基板；其中，该腔体单元包含形成在该腔体单元的侧壁之复数个排气孔，该复数个排气孔位于该基板和该载体基板之间的间隙的两侧；以及其中，该压力调节单元与该复数个排气孔连接，并利用该复数个排气孔经由该基板与该载体基板之间的该间隙的两侧排出气体。
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