一种基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法，属于薄膜疲劳失效预测方法。本发明的超薄铜膜疲劳失效预测方法的具体步骤如下：采用磁控溅射技术制备组织均匀的铜薄膜；将薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值、加载频率后进行测试；测试并记录薄膜的存数刚度随时间的变化关系；然后分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点；得出铜薄膜发生疲劳失效的时间。本发明利用DMA组件实现基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法，该方法操作简单，结果准确有效，适应性强。

主权项

一种基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法，其具体步骤如下：(1)利用磁控溅射技术制备组织均匀的薄膜；(2)将所得薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值以及加载频率后进行测试；(3)测试并记录薄膜的存数刚度随时间的变化；(4)分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点，即得到薄膜发生疲劳失效的时间；上述超薄铜膜的厚度为20~100nm。