F-theta lens and micro-hole drilling apparatus

摘要

본 발명은, 광원측으로부터 순서대로, 부의 굴절력을 가지는 제1 렌즈와, 정의 굴절력을 가지는 제2 렌즈를 구비하며, 다음의 조건식을 만족하는 에프시타 렌즈를 제공한다.<식>여기서, f는 전체 초점거리[mm], BFL은 후방 초점거리[mm] 나타낸다.