| 摘要 |
본 발명은 유리재(glass material)의 가시부(visible region) 내에서 내구성의 반사 방지 처리를 위한 방법으로서, 상기 방법은 전자 사이클로트론 공명(electron cyclotron resonance; ESR) 소스에 의해 생성되는 가스의 단전하 및 다전하 이온들(mono- and multicharged ions of a gas)의 빔(beam)에 의한 충격(bombardment)으로 구성되어 있으며; 상기 유리재의 처리 온도는 유리 전이 온도 이하이고; 주입층(implanted layer)의 굴절률(refractive index) n이 대략 (n1*n2)(여기서, n1은 공기의 굴절률이고, n2는 유리의 굴절률이다)과 동일해지는 가스의 단전하 및 다전하 이온들의 원자 농도를 얻기 위해, 단위 면적 당 주입 가스의 단전하 및 다전하 이온들의 양은 10ions/cm내지 10ions/cm의 범위에서 선택되며; p*λ/4*n (여기서, t는 주입 가스의 단전하 및 다전하 이온들의 원자 농도가 1% 이상인 주입부에 대응하는 주입 두께이고, p는 정수이며, λ은 입사 파장(incident wavelength)이며, n은 주입층의 굴절률이다)과 동일한 주입 두께 t를 얻기 위해, 가속 전압(acceleration voltage)은 5 kV 내지 1000 kV 사이의 범위에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법을 제공한다. |
