发明名称 Verfahren zum gleichzeitigen Trennen einer Vielzahl von Scheiben mit besonders gleichmäßiger Dicke von einem Werkstück
摘要 Verfahren zum gleichzeitigen Trennen einer Vielzahl von Scheiben von einem zylindrischen Werkstück entlang streng konvexer Trennflächen, umfassend das Halten des Werkstücks mit der Achse des Werkstücks parallel zu den Achsen von Drahtführungsrollen mittels einer Montageleiste und einer Zustelleinrichtung einer Drahtsäge; das Bewegen des Werkstücks mittels der Zustellvorrichtung senkrecht von oben durch ein Gatter der Drahtsäge, wobei das Gatter aus einer Vielzahl von parallel zueinander und in einer Ebene laufender Abschnitte eines Drahtes durch Winden des Drahtes um die Drahtführungsrollen und Führen in senkrecht zu den Achsen der Drahtführungsrollen verlaufenden Rillen in den Drahtführungsrollen gebildet wird; und das Zuführen einer Aufschlämmung von Hartstoffen in einer Trägerflüssigkeit als Schneidmittel zu den Drahtabschnitten, während die Drahtabschnitte mit einer Längsspannung durch Rotation der Drahtführungsrollen unter fortgesetztem Wechseln zwischen einer ersten Drehrichtung und einer zweiten, der ersten Drehrichtung entgegengesetzten Drehrichtung, eine Relativbewegung zum Werkstück beschreiben, wobei während des Drehens in die erste Richtung der Draht um eine erste Länge und während des Drehens in die zweite Richtung der Draht um eine zweite Länge bewegt wird und die zweite Länge kürzer als die erste gewählt wird, dadurch gekennzeichnet, dass zu Beginn des Trennvorgangs eine erste Längsspannung und am Ende des Trennvorgangs eine zweite Längsspannung gewählt wird, wobei die erste Längsspannung größer als die zweite Längsspannung ist.
申请公布号 DE102014208187(A1) 申请公布日期 2015.11.05
申请号 DE201410208187 申请日期 2014.04.30
申请人 SILTRONIC AG 发明人 PIETSCH, GEORG
分类号 H01L21/304;B23D57/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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