固态图像拾取装置和图像拾取系统

摘要

本发明涉及固态图像拾取装置和图像拾取系统。根据本发明的固态图像拾取装置通过层叠具有光电转换元件和传送晶体管的栅电极的第一基板与具有周边电路部的第二基板而被配置。第一基板不具有高熔点金属化合物层，而第二基板具有高熔点金属化合物层。此简单的配置使得周边电路部中的晶体管能够以高的速度操作，同时抑制光电转换元件的特性的劣化，由此使得能够进行高速的信号读出操作。

主权项

一种固态图像拾取装置的制造方法，所述方法包括：第一步骤，形成包括第一半导体基板和第一布线结构的第一部件，第一半导体基板被设置有光电转换元件和第一晶体管，第一布线结构被设置在第一半导体基板上；第二步骤，形成包括第二半导体基板和第二布线结构的第二部件，第二半导体基板被设置有第二晶体管，第二布线结构被设置在第二半导体基板上；以及接合第一部件和第二部件的步骤，其中，在第一步骤中，在第一半导体基板上形成第一布线结构的层间绝缘膜，而没有在第一晶体管处形成金属化合物层，其中，在第二步骤中，在第二晶体管处形成金属化合物层之后，在第二半导体基板上形成第二布线结构的层间绝缘膜，并且其中，在接合第一部件和第二部件的步骤中，将被至少设置在第一部件和第二部件之一处的针对所述金属化合物层中包含的金属的扩散防止膜置于第一半导体基板和第二半导体基板之间。