| 发明名称 |
基板处理系统及方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI506719 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW101141546 |
申请日期 |
2012.11.08 |
| 申请人 |
因特瓦克公司 |
发明人 |
彼得森 泰瑞;西斯麦耶 亨利;秦缪恩;普拉巴卡尔 维内;艾迪比 巴巴克;布拉克 泰瑞 |
| 分类号 |
H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
徐宏昇 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;李纪颖 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;刘晏慈 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2 |
| 主权项 |
一种基板处理系统，包括：一处理腔，用以定义一处理区；一第一吸盘阵列，耦合至一位在第一侧上之第一传输装置，其中该第一吸盘阵列设成可于第一传输装置上线性来回移动；一第二吸盘阵列，耦合至一位在第二侧上(第一侧相反位置)之第二传输装置，其中该第二吸盘阵列设成可于第二传输装置上线性来回移动；且其中该第一及第二传输装置各设成可升降移动，而使第一及第二吸盘阵列其中之一能自另一吸盘阵列下方通过。
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| 地址 |
美国 |
