| 发明名称 |
处理液供给装置、处理液供给方法及记忆媒体 |
| 摘要 |
本发明之课题在于提供处理液的置换性高，并且能够安定地进行处理液的供给之处理液供给装置等。本发明之解决手段，系在设置在透过吐出部(51)往被处理体(W)吐出处理液之处理液供给装置(5)之供给泵(6)，使构成处理液的供给路的一部份之管子(62)具有弹性；使引导部(61)为了制约管子(62)的外面而设在沿着该管子(62)的伸长方向。按压部(65)，则藉由在于和引导部(61)之间挟着管子(62)进行按压之状态下进行移动而往吐出部(51)供给处理液。在利用该供给泵(6)朝向吐出部(51)供给处理液之期间中，管子(62)仅受按压部(65)按压。 |
| 申请公布号 |
TW201540377 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW103140792 |
申请日期 |
2014.11.25 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
佐佐卓志 SASA, TAKASHI;柴田大树 SHIBATA, DAIKI |
| 分类号 |
B05C11/10(2006.01);F04C5/00(2006.01);F04B43/12(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
B05C11/10(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 JP |
