| 发明名称 | 分离多个裸片的方法和分离多个裸片的处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及分离多个裸片的方法和分离多个裸片的处理装置，其中，该方法包括：通过化学改变要从包括多个裸片的载体中去除的位于裸片之间的一个或多个部分的性质，限定要去除的一个或多个部分；在至少一个裸片上进行前段制程FEOL工序，以形成至少一个半导体器件；以及选择性地去除载体的性质被化学改变了的一个或多个部分，以沿着所去除的一个或多个部分分离裸片。 | ||
| 申请公布号 | CN103094169B | 申请公布日期 | 2015.10.28 |
| 申请号 | CN201210441776.8 | 申请日期 | 2012.11.07 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | 曼弗雷德·恩格尔哈德特;彼得拉·菲舍尔 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 余刚;吴孟秋 |
| 主权项 | 一种分离多个裸片的方法，所述方法包括：通过化学改变要从包括多个裸片的载体中去除的位于所述裸片之间的一个或多个部分的性质，限定要去除的所述一个或多个部分；在至少一个裸片上进行前段制程FEOL工序，以形成至少一个半导体器件；以及选择性地去除所述载体的性质被化学改变了的所述一个或多个部分，以沿着所去除的所述一个或多个部分分离所述裸片；其中，在完成所述前段制程FEOL工序之前，化学改变要去除的所述一个或多个部分的性质。 | ||
| 地址 | 德国瑙伊比贝尔格市 | ||