一种高精度定位控制平台

摘要

本发明公开一种高精度定位控制平台，所述定位平台包括第一底座、移动机构、将第一底座与移动机构连接的至少一组导向部件、用于控制移动机构平面运动的驱动源，以及用于检测所述移动机构平面运动位置的反馈元件。本发明采用机械与检测的耦合效应，将多个独立机构的中心设立在平面内的一条直线上，使之重合误差达到最小。同时将检测装置立向设在工作台的重心或质心位置，降低动态干扰,可精确获取单向移动的真实刚体位置。通过上述合理的机械布局，实现检测的稳定性，解决了非线性重合点难弥补和机台振动引起的不良状况。除此之外，单方向动子可作平面运动，省掉了解耦结构，使平台的性能进一步提高，同时无需高柔性线缆和管理系统。

主权项

一种高精度定位控制平台，其特征在于，所述平台包括第一底座、移动机构、将第一底座与移动机构连接的至少一组导向部件、用于控制所述移动机构平面运动的驱动源，以及用于检测所述移动机构平面运动位置的反馈元件；所述移动机构的运动质量重心设置在所述驱动源的推力中心或其接近位置，所述驱动源的推力中心设置在至少一组导向部件的刚度中心或其接近位置，即所述导向部件刚度中心通过第一底座连接设置在所述移动机构的运动质量重心或其接近位置，所述反馈元件立向放置并设置在所述导向部件的刚度中心， 从而使所述移动机构通过驱动源的供能达到移动机构沿导向部件平面移动的目的。