压电元件用下部电极及具备它的压电元件

摘要

通过对构成用于压电元件的下部电极的Pt层全部同时规定摇摆曲线的半宽度、表面的平均粗糙度、以及平均粒径，从而将特性良好的Pt层稳定成膜，在该Pt层上将特性良好的压电薄膜稳定成膜。

主权项

一种压电元件用下部电极，是形成于基板上的成为压电薄膜的下部电极的压电元件用下部电极，该下部电极由Pt层构成，在所述Pt层中，X射线衍射中的Pt的(111)面的摇摆曲线的半宽度为2.2°以下，其特征在于，表面的粗糙度满足均方根粗糙度RMS为1.0nm以下和算术平均粗糙度Ra为0.8nm以下中的至少一方，Pt的平均粒径为200nm以上。