感放射线性组成物、透明硬化膜及其形成方法

主权项

一种正型感放射线性组成物，其系透明硬化膜形成用感放射线性组成物，其含有：[A]矽氧烷聚合物、[B]金属氧化物颗粒、[C]感放射线性酸产生剂或感放射线性硷产生剂、以及[D]非离子类分散剂，上述[B]金属氧化物颗粒为选自锆、钛及锌所构成的群组中的至少一种金属的氧化物颗粒，上述[D]非离子类分散剂为下式(3)表示的化合物、聚氧伸乙基烷基苯醚、烷基葡糖苷、聚氧伸乙基脂肪酸酯、蔗糖脂肪酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯或脂肪酸烷醇醯胺，
在式(3)中，r和s系选择使藉由凝胶渗透层析求出的聚苯乙烯换算数量平均分子量为10000~40000之数。