荷电粒子束描绘装置及荷电粒子束的照射量检查方法

主权项

一种荷电粒子束描绘装置，其特征系具备：运算部，其系补正近接效应，覆盖效应及负载效应的其中至少1个所引起的尺寸变动，且运算表示依据从外部输入的剂量调变量所被剂量调变的荷电粒子束的每单位面积的照射量之照射量密度；判定部，其系判定前述照射量密度是否超过容许值；及描绘部，其系利用荷电粒子束来对试料描绘图案。