一种混合驱动的可调谐光学驱动器

摘要

本实用新型涉及一种混合驱动方式的可调谐光学驱动器，包括热驱动变形梁1、磁驱动变形梁2、驱动电极3-6、电隔离槽7-11、微镜面12，其特征在于所述磁驱动梁2和热驱动梁1通过驱动连接结构与微镜面12连接，根据不同磁场方向和施加的电压，所述驱动梁会产生不同的驱动力改变微镜面的运动方向。所述梁1和梁2之间用隔离槽进行电隔离和热隔离。本实用新型采用了可以磁热兼容的混合驱动结构设计，同时采用不同的隔离结构对其电学驱动进行隔离，减少了热驱动梁的功耗，可以在不增加热驱动功耗时增加其光衰减量。同时由于采用电学隔离和热学隔离，避免了热驱动梁上的热变化对微镜面结构的影响，提高了器件的整体性能及可靠性。

主权项

一种混合驱动的可调谐光学驱动器，其特征在于所述混合驱动可调谐光学驱动器包括磁驱动梁和热驱动梁，所述磁驱动梁和热驱动梁通过驱动连接结构与微镜面连接，根据不同磁场方向和施加的电压，所述磁驱动梁和热驱动梁会产生不同的电磁驱动力和热驱动力从而改变动微镜面的运动方向，所述磁驱动梁和热驱动梁之间用隔离槽（11）进行电隔离和热隔离。