| 发明名称 | 一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法，柔性聚焦MEMS超声波发生器包括采用MEMS技术制备的超声波换能器阵列排布在聚酰亚胺基体的表面，相邻超声波换能器之间通过电极相连接；所述超声波换能器呈碗状凹形嵌入聚酰亚胺基体内。本发明的柔性聚焦MEMS超声波发生器是将MEMS工艺制作的超声波换能器进行阵列化排布在柔性聚酰亚胺基底上，可随意卷曲，使其在使用时可和待测样品的曲面进行完全贴合，其谐振频率较高，在超声成像和超声探伤等领域制可获得更高的分辨率；且方便操作，提高检测精度。 | ||
| 申请公布号 | CN104984890A | 申请公布日期 | 2015.10.21 |
| 申请号 | CN201510309834.5 | 申请日期 | 2015.06.06 |
| 申请人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明人 | 尤晖;林荣辉;张瑞;李小军 |
| 分类号 | B06B1/06(2006.01)I;B29C39/10(2006.01)I;B29D99/00(2010.01)I | 主分类号 | B06B1/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人 | 汪贵艳 |
| 主权项 | 一种柔性聚焦MEMS超声波发生器，其特征在于：包括采用MEMS技术制备的超声波换能器，所述超声波换能器阵列排布在聚酰亚胺基体的表面，相邻超声波换能器之间通过电极相连接；所述超声波换能器呈碗状凹形嵌入聚酰亚胺基体内。 | ||
| 地址 | 230031 安徽省合肥市西郊董铺岛1130号信箱智能所 | ||