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发明名称 用于平面显示器之相位移位空白光罩及光罩
摘要
申请公布号 TWI505019 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW102126997 申请日期 2013.07.26
申请人 Ｓ＆Ｓ技术股份有限公司 发明人 南基守;李东镐;朴渊洙;徐成旼;金荣善
分类号 G03F1/26 主分类号 G03F1/26
代理机构 代理人 赖安国 台北市信义区东兴路37号9楼;王立成 台北市信义区东兴路37号9楼
主权项 一种用于平面显示器(FPD)之相位移位光罩，其包括设置在一透明基板上之一相位移位层图案，其中该相位移位层图案具有至少两个膜相堆叠的一结构；及该相位移位层图案具有相对于一i线、一h线及一g线中之每一者而言为0°至50°的一相位差偏差，其中该相位差偏差系藉由将一最大相位角减去一最大相位角来获得。
地址 南韩
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