一种阵列基板及其制作方法、X射线平板探测器

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、X射线平板探测器，涉及光电技术领域，为能够增强薄膜晶体管的稳定性而发明。所述阵列基板包括：基板；形成于所述基板上的栅线层，所述栅线层包括栅极以及与所述栅极连接的栅线；形成于所述栅线层上方的栅绝缘层；形成于所述绝缘层上方的有源层；形成于所述有源层上方的数据线层，所述数据线层包括源极、漏极以及与所述源极连接的数据线，所述数据线与所述栅线交叉，其中，所述有源层包括导体层和半导体层，所述导体层形成于所述栅绝缘层的上方，所述半导体层包裹所述导体层。本发明主要适用在X射线平板探测器中。

主权项

一种阵列基板，包括：基板；形成于所述基板上的栅线层，所述栅线层包括栅极以及与所述栅极连接的栅线；形成于所述栅线层上方的栅绝缘层；形成于所述栅绝缘层上方的有源层；形成于所述有源层上方的数据线层，所述数据线层包括源极、漏极以及与所述源极连接的数据线，所述数据线与所述栅线交叉，其特征在于，所述有源层包括导体层和半导体层，所述导体层形成于所述栅绝缘层的上方，所述半导体层包裹所述导体层；所述栅绝缘层的形成材料为氧化物、氮化物或者氮氧化合物。