步进电机气动微阀

摘要

一种步进电机气动微阀，包括流道支架，气体流道，阀芯致动器和步进电机，气体流道固定在流道支架上，流道支架由两个U型支架、连接两U型支架的横梁和第一平板构成，气体流道由底座及底座上设置的平薄膜及带有流道的薄膜构成，气体流道相对两侧均设有钢管，钢管与平薄膜间均通过波纹管连接，步进电机通过减震垫固定在电机固定板上，步进电机下设有阀芯致动器，阀芯致动器包括第二平板及垂直设置在第二平板上的阀芯杆，阀芯杆由底杆，弹簧部和顶杆构成。阀芯杆上弹簧部的设置有利于减缓阀芯杆对薄膜的冲击，减少阀芯杆对薄膜造成的磨损，延长薄膜的使用寿命；波纹管的设置可在阀芯杆对阀口进行关闭操作时，大大减缓薄膜与钢管的压力。

主权项

一种步进电机气动微阀，其特征在于：包括流道支架，气体流道，阀芯致动器和步进电机（11），所述气体流道固定在流道支架上，所述流道支架由两个U型支架（1）、连接两U型支架的横梁（2）和第一平板（3）构成，所述气体流道由底座（4）及底座上设置的平薄膜（5）及带有流道的薄膜（7）构成，气体流道相对两侧均设有钢管（6），所述钢管（6）与平薄膜（5）间均通过波纹管（8）连接，所述步进电机（11）通过减震垫（9）固定在电机固定板（10）上，所述步进电机（11）下设有阀芯致动器，所述阀芯致动器包括第二平板（12）及垂直设置在第二平板（12）上的阀芯杆（13），所述阀芯杆（13）由底杆（13a），弹簧部（13b）和顶杆（13c）构成。